ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНОК В УСЛОВИЯХ АНОМАЛЬНОГО СКИН-ЭФФЕКТА
Ключевые слова:
металлическая пленка, аномальный скин-эффект, интегральные уравнения, многоугловая эллипсометрия
Аннотация
Сформулированы неоднородные интегральные уравнения Фредгольма второго рода, описывающие поля волн ТЕ и ТМ поляризации в металлических пленках с учетом аномального скин-эффекта. Уравнения допускают численное решение методом квадратур. Исследованы электрические поля в золотых и алюминиевых пленках, расположенных на кремниевой подложке и угловые зависимости поляризационных углов отраженного от пленок света. Установлено, что для решения обратной задачи многоугловой эллипсометрии металлических пленок с использованием приближения нормального скин-эффекта характерна нестабильность восстановленного комплексного показателя преломления металла при изменении толщины металлической пленки.
Опубликован
2021-04-09
Раздел
Статьи