ИЗМЕНЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ОКСИДА ТИТАНА ПРИ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ

Аннотация

Кристаллизация аморфных пленок оксида титана, синтезированных методом магнетронного распыления, проведена при температурах 700, 800 и 900 ^оС в атмосфере кислорода. Показатель преломления пленок растет при кристаллизации с постоянной времени, которая зависит от температуры,  что позволило определить энергию активации процесса кристаллизации порядка 0.6 eV.  Модель кинетики роста нанокристаллов оксида титана, которая использована в данной работе, показала, что указанная энергия активации соответствует энергии диффузии вакансий кислорода. Этот процесс является определяющим для роста нанокристаллов оксида титана при отжиге в атмосфере кислорода. Изучение фотолюминесценции показало, что кристаллизация приводит к изменению отношения интенсивностей различных полос излучения. Гаснут полосы, которые связаны с вакансией кислорода. Снижение концентрации этих вакансий в пленках приводит к росту их сопротивления и стабилизации пленок во времени.