ОБОБЩЕННАЯ НУЛЬ-ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ В СХЕМЕ «ПОЛЯРИЗАТОР-ОБРАЗЕЦ-АНАЛИЗАТОР»
Аннотация
Рассмотрена «нуль-методика» обобщенной эллипсометрии с использованием безкомпенсаторной схемы поляризатор‒образец‒анализатор при падении на анизотропную систему s- или p-поляризованного света. Приведены аналитические выражения, связывающие измеряемую угловую величину — азимут анализатора в минимуме интенсивности детектируемого излучения — с элементами (2х2) анизотропной матрицы Джонса. Для определения оптико-геометрических параметров исследуемых анизотропных систем предлагается использовать зависимость этой величины от ориентации (азимута) образца. Оценена чувствительность метода. Установленоно, что она сравнима с чувствительностью схемы поляризатор‒компенсатор‒образец‒анализатор. Проведен сравнительный анализ данного метода с известным фотометрическим методом обобщенной эллипсометрии в схеме поляризатор-образец-анализатор, основанным на измерении зависимости интенсивности отраженного света от азимута образца при фиксированных положениях поляризатора и анализатора. Оценено, что для получения одинаковой чувствительности этих двух методов погрешности в одну угловую минуте в предлагаемом методе соответствует относительная погрешность определения энергетического коэффициента отражения 0.05% в фотометрическом методе обобщенной эллипсометрии.