Оптические свойства пленки линейно-цепочечного углерода, нанесенного на стальной образец

Аннотация

Эллипсометрическим методом Битти получены оптические постоянные пленки линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) в спектральном диапазоне от 248 nm до 1100 nm (1.13-5.0 eV с шагом 0.1 eV) и определена её толщина. Пленка ЛЦУ была нанесена на предварительно полированную поверхность массивного стального образца с использованием технологии импульсной углеродной плазмы с ионным стимулированием. Установлено, что в измеряемом диапазоне спектра показатель преломления пленки изменяется от 2.35 до 2.73, а величина k изменяется от нуля до 1.02. Эффективная толщина пленки определена равной d=92±2Å. Проводимость ЛЦУ-пленки – полупроводниковая (Eg=4.1 eV).

Предложен упрощенный метод определения ширины запрещенной зоны наноразмерных полупроводниковых и диэлектрических пленок, который не требует громоздких вычислений с подбором соответствующих моделей с необходимыми оптическими параметрами.