Эмиссионные спектры молекулярных газов CHF3, CCl2F2, SF6 в диапазоне 3-20nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней

Аннотация

В статье рассматриваются результаты исследования эмиссионных спектров CHF₃, CCl₂F₂, SF₆ при возбуждении импульсным лазерным излучением. Использовался лазер Nd:YAG, λ=1064 nm, τ=5 ns, Е_pulse=0.8 J. Исследован спектральный диапазон 3-20 nm. Для формирования атомарно-кластерного пучка использовались капилляр d=500 μm и сверхзвуковые конические сопла с d_cr = 145 μm, 2α = 12^o, L= 5 mm, и d_cr = 450 μm, 2α = 11^o, L= 5 mm. Были получены эмиссионные спектры для различных газовых мишеней, проведена расшифровка полученных спектров и определены ионы, излучающие в данном спектральном диапазоне. Проведено сравнение интенсивностей линий при использовании различных систем формирования мишеней.