Формирование плёнок In2O3 методом магнетронного напыления на подложках Al2O3 (012)

Аннотация

Обобщены результаты исследований микроструктуры и оптических характеристик плёнок In₂O₃ полученных dc-магнетронным методом распыления поликристаллической мишени на монокристаллические сапфировые подложки. Технологические режимы получения плёнок отличались временем напыления, температурой подложки, а также наличием дополнительной термообработки пленочных структур на воздухе. Установлено, что оптический показатель преломления плёнок, осажденных на «холодную» подложку возрастает в направлении от подложки к внешнему интерфейсу. Термообработка пленок устраняет неоднородность показателя преломления и приводит к уменьшению ширины запрещённой зоны. Наблюдаемые оптические свойства объясняются неоднородной по толщине микроструктурой пленок, которая формируется при распылении мишени с относительно невысокой механической прочностью.