Лазерное структурирование кварцевых стекол для создания элементов микрофлюидики

Аннотация

Проведено исследование влияния мощности и скорости сканирования лазерного излучения СО2-лазера на поверхность кварцевого стекла для изготовления микроканалов и микрорезервуаров для задач микрофлюидики. Установлены зависимости размеров и шероховатости микроструктур от параметров лазерного излучения. Глубина микрофлюидных элементов достигает 45 μm с шероховатостью < 40 nm. Для записанных микроканалов произведена оценка скорости распространения жидкости (до 15 mm/s). Оценена смачиваемость микрорезервуаров, где угол смачивания достигает 64±7ο. Созданные элементы обладают высоким пропусканием (T≥0.8) в видимом спектральном диапазоне.