ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ СПЕКТРОВ ОПТИЧЕСКИХ ПОСТОЯННЫХ CdTe В ОБЛАСТИ КРАЯ ПОГЛОЩЕНИЯ

Василий Александрович Швец; Денис Викторович Марин; Максим Витальевич Якушев; Сергей Владимирович Рыхлицкий

Василий Александрович Швец Институт физики полупроводников Сибирского отделения РАН
Денис Викторович Марин ИФП СО РАН
Максим Витальевич Якушев ИФП СО РАН
Сергей Владимирович Рыхлицкий ИФП СО РАН

Ключевые слова: эллипсометрия, кадмий теллур, спектры оптических постоянных, край фундаментального поглощения, температура.

Аннотация

В работе исследованы спектры оптических постоянных эпитаксиальных слоёв теллурида кадмия вблизи края фундаментального поглощения. Для этого были проведены эллипсометрические измерения исследуемых слоёв в вакуумной камере в температурном интервале от Т=38° до 275°С. Разработан численный алгоритм решения обратной задачи эллипсометрии для рассматриваемых структур, с помощью которого определены спектральные зависимости показателей преломления n(l) и поглощения k(l) в диапазоне длин волн от 700 до 1000 nm. Представлены параметрические зависимости k(l,Т) в области фундаментального поглощения и в области прозрачности. Установлено наличие протяжённого хвоста поглощения в области прозрачности, связанного, предположительно, с нарушениями кристаллической структуры.