Численное моделирование термодиффузионного процесса при наличии объемного тепловыделения

Аннотация

В работе рассматривается модельная задача термодиффузионного процесса в кремниевой пластине. Математической моделью этого процесса является начально-краевая задача для системы линейных дифференциальных уравнений в частных производных параболического типа. В этой системе одно уравнение описывает процесс распространения тепла в кремнии при наличии внутренних источников тепла, а другое - процесс диффузии примеси в нем. При этом эти уравнения связаны так, как коэффициент диффузии примеси зависит от температуры. Для поиска приближенного решения  краевой задачи используется неявная разностная схема и классический метод прогонки. Приведен вычислительный эксперимент.